商品名称:等离子清洗机
外形尺寸:8.5"H x 10"W x 8"D(215mm x 254mm x 203mm) 重量:6.0kg 输入电源: 220 V/50Hz 输入功率: 100 W 功率档: 低档680V DC、10mA DC、6.8W 中档700V DC、15mA DC、10.5W 高档720V DC、25mA DC、18W 常用工作气体: 空气、氩气、氮气或混合气体等 基本配置: 直径3英寸,长6.5英寸的耐热玻璃舱体。
主要特点
• 结构紧凑、桌上型仪器;
• 使用可调射频电源; 可以设置功率为低、中、高级别; 低成本、环境友好、操作安全
• 输入电压:110/220V,50/60Hz,;
• 输出频率:13.56MHz;
• 等离子直流电源:
低功率设定:直流680V,10mA,6.8W;
中功率设定:直流700V,15mA,10.5W;
高功率设定:直流720V,25mA,18W;
• 等离子腔室: 直径75mmx长165mm,耐热玻璃 前盖可以拆卸。
• 真空泵和阀的要求:
a,抽速1L/s
b,极限压力:200mtorr或者0.27mbar
c,可以选择数字真空表
d,针阀控制气体流量
e,采用三通阀门快速控制进气、密封等离子腔室、排气
• 气体:多种气体可以用于等离子清洗,例如氮气、氩气、空气、混合气体,主要取决于处理何种材料。
警示:不能使用可燃性气体。
• 外形尺寸:200mmx250mmx210mm 8、净重:(不含泵)8kg
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